클린 진공 내열 대응 상품

반도체 제조 장치 및 FPD 제조 장치 · 의료 기계 등의 용도로 사용할 수 있습니다.

저 파티클 

입자의 부착이 극히 미량입니다. 
그대로 클린룸에서 이용하십시오. 오염 물질을 크린룸 내에 반입 없습니다.

진공대응

진공 환경에서 아웃 가스의 발생이 적은 재질을 사용하고 있습니다. 
진공의 압력 차이로 미스 얼라이먼트가 커지는 경우에는 큰 미스 얼라인먼트가 허용하는 Mohs MOP 을 권장합니다.

저 아웃가스

대기압 환경에서의 케미컬 오염의 원인이되는 아웃 가스의 발생이 적은 재질을 사용하고 있습니다.

내열

고온 (80 ℃ 이상) 환경에서도 사용할 수 있습니다. 
열팽창에 따른 축의 팽창이나 변형은 미스 얼라인먼트가 커지는 경우가 있습니다. 미스 얼라인먼트가 커지는 경우에는 큰 미스 얼라이먼트를 허용 가능한 Mohs MOP 을 권장합니다.

내약품성 

내약품성이 뛰어난 재질을 사용하고 있습니다.

커플링

특성	카뿌리콘 ?
	XSTS	XWSS	MSXP	MOHS	MOP	XBWS	XBSS
재질	SUS316L	SUS316L	PEEK *	SUS303  베스벨 ? **  SUSXM7	A2017  PEEK *  SUSXM7	SUS303  SUSXM7	SUS303  SUSXM7
세정 방법	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정
저파티클	◎	◎	◎	△	△	●	●
진공 호환	●	●	●	◎	◎	●	●
낮은 아웃 가스	●	●	●	●	●	●	●
내열	●	●	●	◎	◎	●	●
내약 품성	◎	◎	◎	◎	●	●	●

*** 표준품되지 미세정 제품입니다. 요청에 따라 깨끗한 세척 클린 포장을드립니다. 자세한 내용은 깨끗한 세척 서비스 를 참조하십시오.

베어링 베어링 홀더 샤프트 홀더

특성	베어링					베어링 홀더	세트 칼라	샤프트 홀더
	CBP	CBP-TC	CBP-SS	CBP-UG	CBR	CBASC  CBBSC	NSCC  NSCSC	CSHSC
재질	PEEK *	PTFE	PPS	UHMW	SUS440C	SUS440C  SUS304	SUS304	SUS304
세정 방법	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	초음파 세정	IPA 세정	IPA 세정	초음파 세정	초음파 세정
저파티클	△	△	△	△	●	●	●	●
진공 호환	●				×	×	●	●
낮은 아웃 가스	●						●	●
내열	●	●	●				●	●
내약 품성	◎	◎	●	◎			●	●

◎ : 매우 뛰어나다. ● : 뛰어나다. △ : 마모 가루가 발생 할 수 있습니다. × : 기름이 진공 환경에서 기화합니다. 

위 제품에 대한 문의 사항은 아래 연락처로 문의해 주시기 바랍니다. 

(주)에스피씨테크놀로지 

부장 이동진(010-3220-9494)  [email protected]  TEL : 02-2082-5858